میکروسکوپ نیروی اتمی ابزاری قدرتمند در بررسی و مطالعهی گسترهی متنوعی از مواد در مقیاس نانو است. به کمک این میکروسکوپ، بررسی ویژگیهای ساختاری و فیزیکی مواد نظیر زبری، سختی، توپوگرافی و اندازهی ذرات میسر است. تهیهی تصویر از ذرات نانویی بهویژه مولکولهای زیستی از قابلیتهای AFM است که باعث بهکارگیری گستردهی این فناوری در حوزههای مختلف علوم میشود. همچنین این دستگاه قابلیت ایجاد تغییر و جابهجایی ذرات و سطوح را دارا است.
این مقاله شامل سرفصل های زیر است:
مقدمه
1- کاربرد های AFM 1-1- اندازهگيري زبري سطح مواد 1-2- اندازهگيري سختي سطح 1-3- تصويربرداری از ساختار بلورها در مقیاس نانومتر 1-4- اندازهگيري نیروی اصطكاك 1-5- تهیهی تصوير فاز براي تشخيص طرحهاي روي سطح 1-6- اندازهگيري نانوذرات 1-7- ساخت نانوقطعات 1-8- تصويربرداري از مولكولهای زیستی 1-9- نانولیتوگرافی 1-10- مطالعهی چگونگی رشد بلور
مقدمه
با اختراع میکروسکوپ نیروی اتمی، امکان تهيهی تصویر و بررسی نمونههای گوناگون بهویژه نمونههای عایق و زیستی بهوجود آمده است. این دستگاه با برخورداری از مزایای تهیهی تصویر با توان تفکیک بالا، بهکارگیری آسان، عدم نیاز به آمادهسازی پیچیدهی نمونه، تهیهی تصاویر سهبعدی و امکان بررسی توپوگرافی سطح بهصورت ابزاری قابل قبول در حوزههای مختلف علوم و فناورینانو درآمده و کاربردهای بسیار گستردهای یافته است. این دستگاه بسته به مدل آن، قابلیت انجام آزمایش در شرایط خلاء محیط و مایع را داراست [1].
1- کاربردهای AFM
میکروسکوپ نیروی اتمی در حوزههای مختلف نظیر شیمی، مواد، علوم زیستی، پزشکی و سایر موارد مورد استفاده قرار میگیرد. در این مقاله برخی از مهمترین کاربردهای دستگاه AFM بهصورت مختصر توضیح داده میشود.
1-1- اندازهگيري زبري سطح مواد
یکی از مشخصات مهم سطح ماده زبری است که با تحت تأثیر قرار دادن نیروی چسبندگی، ویژگیهای الکترونی و نوری و نیز انرژی سطح، بر کیفیت ساختار سطح ماده اثرگذار است. با استفاده از دستگاه AFM میتوان انواع مختلف زبري سطح را به روشی ساده در مقياس نانو اندازهگيري نمود و از این طریق سطوح مختلف را بهصورت کمی مقایسه کرد. باید توجه داشت که روش آمادهسازی نمونه، روبش، پردازش و نیز نوع پروب مورد استفاده، در تعیین میزان زبری مؤثر بوده و لازم است این عوامل به هنگام بررسی نمونههای مختلف بهمنظور مقایسه، بهصورت یکسان انتخاب شوند [2 و 1].
1-2- اندازهگيري سختي سطح میکروسکوپ نیروی اتمی با حساسیت و توان تفکیک بالا، قابلیت اندازهگيري سختي سطح نمونههای مختلف را دارد. این توانایی بهویژه برای درک خواص مکانیکی پلیمرهای کامپوزیتی و تأثیر مواد افزودنی در خواصی نظیر سختی و الاستیسیته حائز اهمیت است و امکان اندازهگیری عواملی نظیر مدول یانگ را فراهم میسازد [3 و 1].
1-3- تصويربرداری از ساختار بلورها در مقیاس نانومتر از جمله قابلیتهای مهم دستگاه AFM، امکان تهیهی تصویر از ساختار بلوری با توان تفکیک اتمی است. در شکل (1)، تصاویری از ساختار بلوری میکا و لایهی طلا (111) نشان داده شدهاست که با استفاده از دستگاه AFM و با توان تفکیک اتمی تهیه شدهاست و با استفاده از آن ميتوان آرايش اجزاء سازندهی سطح را مشاهده نمود.
شکل 1: دو نمونه از تصاویر با توان تفکیک اتمی. تصویر سمت چپ، مربوط به سطح میکا و تصویر سمت راست مربوط به سطح تک لایهی طلا (111) است [4 و 5].
1-4- اندازهگيري نیروی اصطكاك تعيين خواص اصطكاكي و مشخصات مواد ناهمگن براساس خواص اصطكاكي با استفاده از میکروسکوپ نیروی جانبی یا میکروسکوپ نیروی اصطکاک در مقیاس اتمی یا ماکروسکوپی ميسر است. مزيت این روش، امکان مطالعهی تريبولوژي در سطح اتمي و توانايي تشخيص عوامل در مقياس نانو است [1]. در مطالعهای رفتار نانوتریبولوژیکی میکا در شرایط حضور و عدم حضور روانکارها به کمک روش میکروسکوپی AFM بررسی شدهاست. در این مطالعه، توپوگرافی و نیروی اصطکاک در محیط مایع اندازهگیری شدهاست. این مطالعه نشان میدهد، مقدار سیگنال اصطکاک برای میکا در حالت بدون حضور روانکار حدود 50 بار بزرگتر است از مقدار اصطکاک در حالتی که روی میکا روانکار وجود ندارد. همچنین در این مطالعه مشخص شد که ضريب اصطكاك براي ميكاي روانكاري شده با روغن حاوي نانو مواد افزودني در مقايسه با روغن پايه، پايينتر است [6].
1-5- تهیهی تصوير فاز براي تشخيص طرحهاي روي سطح تصویر فاز یا بهطور دقیقتر تأخیر فاز را میتوان در حالت ارتعاشی بهدست آورد. در این حالت، مدار کنترل از افت دامنه نوسان تیرک برای تعیین حرکت عمودی روبشگر استفاده میکند. علاوه بر این وقتی سوزن به نمونه نزدیک میشود، فاز نوسان آن تغییر میکند. برای داشتن یک تصویر فاز باید حداقل دو جزء با جنس متفاوت در نمونه است. تصويربرداري فاز به خواص نمونه و چسبندگي بین سوزن و نمونه حساس است. این بدین معنی است که بسیاری از مواد با تصویر فاز از هم تشخیص داده میشوند، اگر چه شناسایی مواد براساس سیگنالهای فاز، همیشه ممکن نیست و وابسته به عوامل متعددی نظیر روش تنظیم دستگاه و عامل روبش است [1].
1-6- اندازهگيري نانوذرات بسياري از خواص منحصر به فرد نانوذرات بهطور مستقيم به اندازهی آنها مربوط است. با استفاده از میکروسکوپ AFM به سادگی میتوان اندازهی نانوذرات را اندازهگیری نمود. با قرار دادن مقدار كمي از سوسپانسيون نانوذرات روي سطوح صاف نظیر ميكای لايهبرداري شده و خشك کردن آن، تصویر نانوذرات تهیه شده و سپس اندازهی آنها سنجیده میشود. در شکل (2)، نمونههایی از تصاویر نانوذرات که به کمک AFM تهیه شدهاست، مشاهده میشود[8 و 7].
شکل 2: نمونهای از تصاویر نانوذرات، الف) کروی، ب) میلهای و ج) نانوذرات مثلثی [8 و 7].
خواص مکانیکی برخی نانوذرات مانند نانولوله های کربنی بسیار مورد توجه هستند. اندازهگیری این خواص بهدلیل مشکلات مربوط به تثبیت نانوذره در دستگاههای معمولی به راحتی امکانپذیر نیست ولي در AFM به سادگی قابل اجرا است. روش فشار عمودی، يكی از روشهای بررسی ساختار نانولولهها است كه از طریق اتصال يا رشد نانولوله روي پروبو سپس فشار دادن آن روي سطح جامد و یا رشد تودهای ساختارهاي نانولوله روي سطح و سپس استفاده از پروب براي فشرده كردن آنها، انجام ميشود [9 و 1].
ویژگیهای الکتریکی نانوذرات نیز با استفاده از AFM قابل اندازهگیری است. بهعنوان مثال، میتوان خواص الکتریکی یک نانولوله کربنی منفرد را با AFM و از طریق قرار دادن یک الکترود (پروب AFM هدایتی) در هر نقطهی دلخواه در طول نانولوله بررسی نمود و براي تشخيص نقصهای موجود در CNT اولیه و اندازهگيري اثر آن در خواص الكتريكي آنها بهکار برد [11 و 10].
1-7- ساخت نانوقطعات
با استفاده از AFM میتوان قطعات نانویی مانند نانوسیمها و نانوترانزیستورها را از اجزای کوچک اتمی یا مولکولی ساخت. بهعنوان مثال، به کمک AFM میتوان نانوذرات کوچک طلا را بهصورت زنجیرهای از ذرات روی سطح مرتب نمود و بهصورت هستههایی بهمنظور ترسیب بعدی طلا و تشکیل نانوسیم طلا بهکار برد [1].
1-8- تصويربرداري از مولكولهای زیستی مولكولهای زیستی، پایه و اساس حیات را تشکیل میدهند. بنابراین درك ساختار، عاملها و برهمکنش آنها برای پیشرفت زيست شناسی و علوم دارويي بسیار با اهمیت است. AFM بهدلیل توانایی تهیهی تصوير از نمونههاي نرم در آب، توان تفكيك بالا و قابليت تهیهی تصوير در شرايط فيزيولوژيکی براي مطالعهی مولكولهاي زیستی مناسب است. تاکنون، با این روش گونههای مختلفی از باکتریها نظیر استافیلوکوکوس، باسیلها، استروپتوکوسها و سالمونلا بررسی شده و تغییرات مورفولوژی آنها در برابر آنتیبیوتیکها مطالعه شدهاست [13 و 12]. همچنین، به کمک آن، تغييرات مورفولوژي و ايجاد حفرههای كوچك روی غشاي چربي بهطور مسقیم مورد مطالعه قرار گرفته است [1]. علاوه بر این، مطالعهی پاسخ سلول به سطح نانو ساختار و نیز برهمكنش سلول – سطح در زمان واقعي با سلول زنده نیز با این روش امکانپذیر است. همچنین میتوان خواص مكانيكي سلول و تفاوت سختي بين قسمتهاي مختلف سلولهاي مشابه را با AFM اندازهگیری نمود. بهعنوان مثال، بررسي تفاوت مكانيكي سلولهاي سالم و مريض، به راحتی با این میکروسکوپ قابل مطالعه است [1، 14 و 15]. در شکل (3)، تصاویر تهیه شده از سلول زندهی حیوانی با استفاده از AFM نشان داده شدهاست.
شكل 3: تصویر یک سلول کارسینومای ریهی انسان که با استفاده از AFM تهیه شدهاست. این تصاویر به ترتیب از چپ به راست در حالتهای الف) توپوگرافی غیرتماسی، ب) حالت فاز و ج) حالت توپوگرافی غیرتماسی سهبعدی تهیه شدهاست [16].
کلاژنها فراوانترین پروتئین در طبیعت هستند و بیش از 25 درصد کل بدن را تشکیل میدهند. کلاژن نوع فیبری نیز بیش از همه در بدن جانوران یافت میشوند. نمونهای از این نوع کلاژن که در تاندون موش یافت میشود، با AFM تصویربرداری شدهاست. شکل (4) تصویر سهبعدی این کلاژن را نشان میدهد. در این تصویر چگونگی اتصال و قرارگیری فیبرهای کلاژن بهخوبی نمایان است [17].
شکل 4: تصویر سهبعدی AFM کلاژن فیبری تاندون موش [17].
در همین راستا، دانشمندان از توانمندی میکروسکوپ AFM در بررسی ترکیبات کلاژنهای فیبردار برای مطالعهی قرنیهی چشم استفاده نمودهاند و جزئیات ساختاری آن را مورد مطالعه قرار دادهاند. البته قرنیهی چشم قبلاً با استفاده از میکروسکوپ الکترونی نیز بررسی شده بود، ولی بهدلیل این که در بررسیهای AFM نیازی به روکش کردن یا خشک کردن نمونه برای آمادهسازی نیست و روش مطالعهی AFM غیرمخرب است، نتایج بهدست آمده از دقت بالاتری برخوردار است. در شکل (5) تصویری از قرنیهی چشم انسان نشان داده شده که با میکروسکوپ AFM بهدست آمده است. نتایج نشان میدهند که غشای پایه شامل آرایهی جعبه مانندی از فیبرها، برجستگیها و منفذها در ابعاد نانومتری است. همچنین تصاویر نشان میدهند که گرچه اجزاء ساختاری در دو غشاء قدامی و دسمه مشابه یکدیگرند ولی این اجزا در غشاء دسمه در مقایسه با غشاء قدامی کوچکتر و فشردهتر هستند [18].
شکل 5: تصویر قرنیهی چشم انسان که با AFM در حالت نوسانی تهیه شدهاست. الف) تصویر AFM سطح غشاء قدامی، ب) تصویر AFM غشاء دسمه [18].
1-9- نانولیتوگرافی
به کلیهی تغییراتی که با استفاده از سوزن میکروسکوپ پروبی روبشی در مقیاس نانو روی سطح ایجاد میشود، نانولیتوگرافی گفته میشود. با کمک این روش میتوان بهصورت کاملاً کنترل شده طرحهای مختلفی با ابعاد نانومتری روی سطح ایجاد نمود. یکی از ابزارهای دقیق و کارآمد برای اجرای نانولیتوگرافی، دستگاه AFM است که علاوه بر ایجاد طرح امکان مشاهده و کنترل مستقیم تغییرات را نیز فراهم میآورد.
نانولیتوگرافی به دو روش متفاوت مکانیکی و الکتریکی انجام میشود. در روش مکانیکی، سوزن با نیرویی قابل کنترل بر سطح فشار آورده و از این طریق خراش ایجاد میکند و برای سطوح نرم و قابل انعطاف مناسب است. در روش الکتریکی با برقراری یک ولتاژ القایی بین سوزن و سطح، جریان الکتریسیته از سوی سوزن هادی به منطقهای مشخص از سطح منتقل شده و شرایط را برای اکسیداسیون منطقهای فراهم میکند. بدینترتیب طرح مورد نظر از طریق رشد لایهی اکسیدی در محل برقراری ولتاژ بهوجود میآید. روشهای متنوع دیگری مانند جابهجایی اتمها، اعمال نیرو، روش ترمومكانيكي، اكسيداسيون موضعي، واکنش شيميايي موضعي، قلم آغشته، قلم دارای روزنه و پيوندزني با نيروي بالا نیز برای انجام لیتوگرافی معرفی شدهاند که به لحاظ روش، سرعت، توان تفکیک و تکرارپذیری متفاوت هستند. شکل (6) نمونهای از نانولیتوگرافی در حالت اعمال نیرو با استفاده از AFM روی سطح میکا را نشان میدهد [20 و 19].
شکل 6: تصاویر AFM از شیارهای مستطیل شکلی که در دو وضعیت الف) ساده و ب) پیچیده با روش نانولیتوگرافی در حالت اعمال نیرو و با استفاده از AFM روی سطح میکا ایجاد شدهاست [21].
1-10- مطالعهیچگونگی رشد بلور
سلول واحد کوچکترین واحد هندسی بلور است. به هنگام تشکیل بلور، اتمها در یک ساختار مشخص در فواصل منظم بهگونهای قرار میگیرند که برایند نیروهای جاذبه و دافعهی بین آنها صفر شود. با توجه به این که نیروهای جاذبه و دافعهی بین اتمهای مختلف با یکدیگر متفاوت است، سلولهای واحد نیز به تعداد و نوع اتمهای سازنده بستگی داشته و برای انواع مواد متفاوت هستند. ترکیبات بسیاری نظیر شیشه و مواد پلیمری اصولا فاقد ساختار بلوری بوده و عمدتاً بهصورت ساختار آمورف و یا ساختار چند بلوری تشکیل میشوند.
سادهترین حالت برای تشکیل یک ساختار بلوری، تجمع مولکول روی سطح یک هستهی اولیه و سپس پیوستن دیگر مولکولها در سطوح بعدی است. در این فرایند جزایر دوبعدی کوچکی تشکیل شده که بهتدریج به یکدیگر میپیوندند. در این حالت پلههایی روی سطح ایجاد میشود. در روشی دیگر، به هنگام تشکیل بلور پلههای مارپیچی تشکیل میشود که میتوانند در طول فرایند تشکیل بلور جابهجا شده و تپههای چندلایهای را به وجود آورند.
با توجه به این که میکروسکوپ AFM علاوهبر امکان تهیهی تصویر از سطوح رسانا توانایی تهیهی تصویر از سطوح عایق و نیمهرسانا را نیز دارا است و همچنین میتواند در محیطهای آبی و محلولهای شفاف بهخوبی عملیات تصویربرداری را انجام دهد، ابزاری بسیار کارامد برای مطالعهی رشد بلور محسوب میشود. قابلیت تعیین بسیار دقیق اندازهی ذرات و توانایی نشان دادن وجوه هندسی بلورها در سه بعد از دیگر مزیتهای میکروسکوپ AFM در مطالعهی بلورها است [23 و 22].
تاکنون ساختار بلوری ترکیبات مختلفی به کمک AFM مطالعه و چگونگی رشدشان بررسی شدهاست. بهعنوان نمونه، در سال 1996، رشد بلور نمک NaCl با تصویربرداری از سطح (001) بهوسیله AFM انجام شد. شکل (7)، تصویر AFM رشد این بلور را نشان میدهد.
شکل 7: تصوير سطح بلور (001) NaCl و چگونگی رشد آن [22].
در مطالعهای دیگر تک بلور LTA که در شرایط هیدروترمال سنتز شدهاست، به کمک AFM بررسی و تصویربرداری شد. شکل (8)، تصویر AFM سطح (100) این بلور را نشان میدهد.
شکل 8: تصویر AFM از سطح (100) تك بلور LTA در محلول آبي الف) تصاوير AFM از سطح (100) تك بلور LTA در محلول آبي 0/1 نرمال NaOH ب) تصوير AFM از سطح (100) تصویر «الف»؛ ج) سطح مقطع عرضي در راستاي خطوط (1) و (2) تصویر «ب»؛ د) تصویر سهبعدی AFM براي تصویر «ب» [23].
منابـــع و مراجــــع
۱ – صدیقه صادق حسنی، جمال الدین افضلی و مریم خسروی، میکروسکوپ نیروی اتمی،1393.
۲ – Tak, Y.-H.; Kim, K.-B.; Park, H.-G.; Lee, K.-H.; Lee, J.-R. (2002). Criteria for ITO (indium-tin oxide) thin film as the bottom electrode of an organic light emitting diode. Thin Solid Films, 411 (1), 12–16.
۳ – Bischel, M. S.; VanLandingham, M. R.; Eduljee, R. F.; Gillespie, J. W.; Schultz, J. M., On the use of Nano scale indentation with the AFM in the identification of phases in blends of linear low density polyethylenehigh density polyethylene. Journal of Materials Science 2000, 35 (1), 221–28.
۴ – Kuwahara, Y., Comparison of the surface structure of the tetrahedral sheets of muscovitephlogopite by AFM. PhysicsChemistry of Minerals 2001, 28 (1), 1–8.
۵ – Jaschke, M.; Schonherr, H.; Wolf, H.; Butt, H.-J.; Bamberg, E.; Besocke, M. K.; Ringsdorf, H., Structure of alkylperfluoroalkyl disulfideazobenzenethiol monolayers on gold (111) Revealed by atomic force microscopy. Journal of Physical Chemistry 1996, 100 (6), 2290–2301.
۶ – Ebrahimpoor Ziaie, E.; Rashtcian, D.; Sadegh Hassani, S. (2008). Atomic force microscopy as a tool for comparing lubrication behavior of lubricants. Material science: An Indian journal, 4 (2), 111-115.
۷ – Vinelli, A.; Primiceri, E.; Brucale, M.; Zuccheri, G.; Rinaldi, R.; Samori, B. (2008). Sample preparation for the quick sizing of metal nanoparticles by atomic force microscopy. Microscopy ResearchTechnique, 71 (12), 870–79.
۸ – Garcia, P.; Eaton, P.; Geurts, H. P. M.; Sousa, M.; Gameiro, P.; Feiters, M. C.; Nolte, R. J. M.; Pereira, E.; de Castro, B., AFMelectron microscopy study of the unusual aggregation behavior of metallosurfactants based on iron(II) complexes with bipyridine ligands. Langmuir 2007, 23 (15), 7951–57.
۹ – Yap, H. W.; Lakes, R. S.; Carpick, R. W., Mechanical instabilities of individual multiwalled carbon nanotubes under cyclic axial compression. Nano Letters 2007, 7 (5), 1149–54.
۱۰ – He, J. H.; Ho, S. T.; Wu, T. B.; Chen, L. J.; Wang, Z. L., Electricalphotoelectrical performances of Nano-photodiode based on ZnO nanowires. Chemical Physics Letters 2007, 435 (1–3), 119–22.
۱۱ – 11- Erts, D.; Polyakov, B.; Dalyt, B.; Morris, M. A.; Ellingboe, S.; Boland, J.; Holmes, J. D., High density germanium nanowire assemblies: contact challengerical characterization. Journal of Physical Chemistry B 2006, 110 (2), 820–26.
۱۲ – Braga, P. C.; Ricci, D., Differences in the susceptibility of Streptococcus pyogenes to rokitamycinerythromycin A revealed by morphostructural atomic force microscopy. Journal of Antimicrobial Chemotherapy 2002, 50 (4), 457–60.
۱۳ – Jonas, K.; Tomenius, H.; Kader, A.; Normark, S.; Romling, U.; Belova, L.; Melefors, O., Roles of curli, celluloseBapA in Salmonella biofilm morphology studied by atomic force microscopy. BMC Microbiology 2007, 7, 70.
۱۴ – Murphy, M. F.; Lalor, M. J.; Manning, F. C. R.; Lilley, F.; Crosby, S. R.; Randall, C.; Burton, D. R., Comparative study of the conditions required to image live human epithelialfibroblast cells using atomic force microscopy. Microscopy ResearchTechnique 2006, 69 (9), 757–65.
۱۵ – Domke, J.; Dannohl, S.; Parak, W. J.; Muller, O.; Aicher, W. K.; Radmacher, M., Substrate dependent differences in morphologyelasticity of living osteoblasts investigated by atomic force microscopy. ColloidsSurfaces B: Bio interfaces 2000, 19 (4), 367–79.
۱۶ – K. Tomankova, H. Kolarova1, M. Vujtek, H. Zapletalova, Study of Cancer Cells Used Atomic Force Microscopy, Modern ResearchEducational Topics in Microscopy, 2007, 23-28.
۱۷ – AFM imaging of type I collagen fibrils AN00955, https://www.nanosurf.com
۱۸ – Julie A. Last, Paul Russell, Paul F. Nealey,Christopher J. Murphy, The Applications of Atomic Force Microscopy to Vision Science, IOVS, December 2010, Vol. 51, No. 12.
۲۰ – Sadegh Hassani, S., Sobat, Z., Studying of various nanolithography methods by using Scanning Probe Microscope. Int .J. Nano .Dim 2011, 1(3), 159-175.
۲۱ – X.N. Xie , H.J. Chung, C.H. Sow, A.T.S. Wee, Nanoscale materials patterningengineering by atomic force microscopy nanolithography, Materials ScienceEngineering R 54 (2006) 1–48.
۲۲ – Ichicawa, K., Yamada, M.”Atomic resolution for non-equilibrium structures in the steady statefor structural transformations at the interface between NaClwater”, J. Phys. Condens. Matter, 8, 1996, 150-160.
۲۳ – Sugiyama Ono, S.; Matsuoka, O. & Yamamoto, S. (2001). Surface structures of zeolites studied by atomic force microscopy. Micropor. Mesopor. Mat. 48, 103-110.
۲۴ – Louey, M.D.; Mulvaney, P.; tewart, P.J.S. (2001). haracterisation of adhesional properties of lactose carriers using atomic force microscopy, Journal of PharmaceuticalBiomedical Analysis 25, 559-567.
۲۵ – G. Pucci, M. P. De Santo, G. Carbone, R. Barberi G. Pucci, M. P. De Santo, G. Carbone, R. Barberi, A novel method to prepare probes for atomic force spectroscopy, Digest Journal of NanomaterialsBiostructures, 2006, 1(3): 99-103.
۲۶ – Choi, D.; Jeon, J.; Lee, P.; Hwang, W.; Lee, K.; Park, H. (2007). Young’s modulus measurements of nanohoneycomb structures by flexural testing in atomic force microscopy”, J. Composite Structures 79, 548–553.
۲۷ – Mege, F., Volpi, F., Verdier, M. (2009). “Mapping of elastic modulus at sub-micrometer scale with acoustic contact resonance”, J. Microelectronic Engineering, Article in Press, Corrected Proof, Note to users.
۲۹ – Geiss, R.H.; Kopycinska-Müller M.; Hurley, D.C. (2005).Wear of Si Cantilever Tips used in Atomic Force Acoustic Microscopy”, J. Microsc Microanal 11(Suppl 2), 364-365.
۳۰ – Price D. M.; Reading M.; Hammiche A.; Pollock H. M. (1999). Micro-thermal analysis: scanning thermal microscopylocalised thermal analysis, International Journal of Pharmaceutics, 192, 85–96.
۳۱ – Lever T. J.; Price D. M. (1998). Using microthermal analysis to characterize the nanoworld, American Laboratory, 30 (16) 15-18.
۳۲ – Pollock H. M.; Hammiche A. (2001). Micro-thermal analysis: techniquesapplications J. Phys. D: Appl. Phys. 34, R23–R53.
۳۳ – Fonseca, L.; Pérez-Murano F.; Calaza C.; Rubio R.; Santander J.; Figueras E.; Gràcia I.; Canéa C.; Morenob M.; Marcob S. (2004). AFM thermal imaging as an optimization tool for a bulk micromachined thermopile, SensorsActuators A, 115, 440–446.
۳۴ – Bhattacharyy, A.; Bhaumik, A.; Usha Rani, P.; Mandal, S.; Epidi, T. T. (2010). Nano-particles – A recent approach to insect pest control, African Journal of Biotechnology Vol. 9(24), pp. 3489-3493, 14.
۳۵ – Uroš Maver, Tomaž Velnar , Miran Gaberšcˇek , Odon Planinšek , Matjaž Finšgar, Recent progressive use of atomic force microscopy in biomedical applications, Trends in Analytical Chemistry 80 (2016) 96–111
۳۶ – S. Wu et al. SMM Imaging of Dopant Structures of Semiconductor Devices Application
۳۷ – Gerd Kaupp, Atomic Force Microscopy, Scanning Nearfield Optical MicroscopyNanoscratching Application to RoughNatural Surfaces, Springer-Verlag Berlin Heidelberg 2006.
۳۸ – فصل نامه شبکه آزمایشگاهی فناوریهای راهبردی سال 2017 و شماره 20