نیتریدها

رسوب ‌دهی شیمیایی از فاز بخار آلی-فلزی MOCVD

در این مقاله روش رسوب‌دهی شیمیایی از فاز بخار آلی–فلزی (Metal-organic CVD) به عنوان زیرمجموعه روش رسوب‎دهی شیمیایی از فاز…